Tabletop-Plasmacleaner

Plasmareinigung, Plasmaätzung, Oberflächenbehandlung

Tergeo Basic, Tergeo Plus und Tergeo-EM
Bei den PIE Scientific Tergeo Plasmacleanern handelt es sich um Hochleistungssysteme für den Laborbetrieb in Forschung und Industrie. Die Grundlagen der zugrundeliegenden Technologie wurden von der “Plasma and Ion Source Technology Group” am Lawrence Berkeley National Laboratory in Kalifornien entwickelt.

Alle Gerätesysteme verfügen über eine einzigartige, patentierte Plasmasensor Technologie zur quantitativen Plasmastärkemessung. Die erhobenen quantitativen Daten sind der Schlüssel, um wiederholbare und gleichbleibende Ergebnisse bei wissenschaftlichen Experimenten oder industriellen Produktionsabläufen zu erreichen. Die Tergeo Plasmacleaner bieten sowohl Immersions- als auch Downstream-Plasmacleaning in einem Gerät. Das macht sie zu vielseitigen Systemen für eine große Bandbreite von Anwendungen, wie Plasmaätzen, Plasmareinigung und Modifikation der Oberflächenbeschaffenheit.

Über sein intuitives Touchscreen-Userinterface kann der Tergeo auch vollautomatisch betrieben werden. Die fortschrittliche Technik beinhaltet volle Prozesskontrolle, da alle Werte von Plasmasenor, digitalem Drucksensor und automatischer, per MFC regulierter Gasflusskontrolle angezeigt werden.

Die integrierte Rezeptbibliothek bietet bis zu 20 editierbare Presets, die sich je nach Fragestellung individuell anpassen lassen.

Typische Anwendungen für die Tergeo Plasmacleaner

  • Aktivierung von Medizinprodukten, Sterilisation und Verbesserung der Haftfähigkeit von Beschichtungen
  • Ätzung von Fotowiderständen, Reinigung von Siliziumwafern
  • PDMS, Mikrofluide, Glasträger und Lab-on-a-Chip
  • Entfernung von Kohlenwasserstoffrückständen auf REM- und TEM-Proben
  • Drahtbonden, Flip-Chip-Underfill, Enkapsulation und Dekapsulation
  • Verbesserung der Verbindung von Metallen oder Verbundwerkstoffen
  • Verbesserung der Klebefähigkeit bei Plastik, Polymeren und Verbundwerkstoffen

Immersions-Plasmacleaning

  • Plasma wird in Probenkammer generiert
  • Proben werden dem Plasma direkt ausgesetzt
  • Chemische Reaktion und energetisches Ionen-Sputtering auf Probenoberfläche

Downstream-Plasmacleaning

  • Plasmaerzeugung außerhalb Probenkammer
  • Proben nicht dem Plasma ausgesetzt
  • Nur leichte chemische Reaktion an der Probenoberfläche
  • Kein energetisches Ionen-Sputtering

Besondere Merkmale der Tergeo Plasmacleaner

  • Immersions- und Downstreamplasmaquelle in einem System
  • Einzigartige Plasmasensortechnologie für Messung der quantitativen Plasmastärke
  • Fortschrittliche Prozesskontrolltechnologie für sicheren Betrieb und ein langes, störungsfreies Leben des Gerätesystems
  • Gleichmäßigeres Plasma durch externe Elektrode
  • Mass-Flow-Controller (MFC) reguliert den Gaseinlass/Gasfluss (keine Nadelventile, die manuell eingestellt werden müssen)
  • Fortschrittlicher, digitaler Drucksensor für genaue Überwachung des Drucks
  • Vollautomatischer Betrieb mit bis zu zwanzig frei editierbaren Presets
  • Einstellungen über intuitives Touchscreen-Display
  • Externe RF-Elektrode und Quarzkammer verhindern Metallkontamination
  • Hochfrequente 13,56 MHz RF-Leistungsversorgung mit automatischer Impedanzanpassung zur Reduzierung von energetischen Ion-Sputtering-Schäden

Tergeo Basic

Kompakter Tabletop-Plasmacleaner
Entwickelt zur Reinigung von Proben im Nanobereich, Ätzung von Fotowiderständen, Aktivierung funktionaler Gruppen auf Polymeren, Herstellung hydrophiler oder hydrophober Oberflächen, Verbesserung von Haftfähigkeit, Bedruckbarkeit und Bioverträglichkeit auf Medizinprodukten. Immersions- und Downstream-Plasmacleaning in einem System.


Tergeo Plus

Großkammer Tabletop-Plasmacleaner
Der Tergeo-Plus wurde entworfen für Proben mit einer Breite von bis zu 150 mm.
Neben Applikationen in Forschung und Entwicklung lässt er sich ebenfalls für die Produktion mit geringer Stückzahl nutzen.


Tergeo-EM

Tabletop-Plasmacleaner für TEM Probenpräparation
Konstruiert zur Beseitigung von Kohlenwasserstoffverunreinigungen auf TEM Proben.
TEM-Sample-Rods verschiedener Hersteller lassen sich mit speziell konstruierten Adapteraufnahmen an der Kammer befestigen. TEM Proben auf löchrigen Carbon-Grids können mit den integrierten Immersions- und Downstream-Plasmacleaning Betriebsmodi gereinigt werden. Ein Probenhalter aus Quarz kann auch Standard-Pinstubs für Rasterelektronenmikroskope (REM) aufnehmen.