Gas-Mixer

Mengenflussgeregelter Drei-Port-Gasmischer

Gasmischer für EM-KLEEN und SEMI-KLEEN Serie Remote-Plasmaquellen
Manche Anwendungen benötigen mehrere Prozessgase, die zusätzlich noch miteinander gemischt werden können. Die Remote-Plasmaquellen der EM-KLEEN und SEMI-KLEEN Serie verfügen jedoch nur über einen Gasanschluss. In diesem Fall kommt der PIE Scientific Gas-Mixer zum Einsatz, der zwischen die verschiedenen Gasquellen und die Plasmaquelle geschaltet wird.

Der PIE Scientific Drei-Port-Gasmischer verfügt über drei Mengenflussgeregelte Gaseinlässe, einen Belüftungs-Bypass für den Pumpenanschluss sowie einen Auslass für das Gasgemisch. Dieser Gasauslass wird an den Gaseinlass des EM-KLEEN bzw. SEMI-KLEEN angeschlossen. Sollte eine hochreine Gasversorgung benötigt werden, bietet der Belüftungs-Bypass für den Pumpenanschluss einen hochleitfähigen Pumpweg zur Evakuierung des Gasschlauchs.