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Tabletop & Remote Plasmacleaner
Innovative Qualitätsprodukte für Probenreinigung, Ätzung,
Oberflächenbehandlung / -aktivierung
 


Tergeo Tabletop-Plasmacleaner

REM / TEM Probenreinigung zur Entfernung von Kohlenwasserstoffverunreinigungen

Plasmabehandlung für hydrophile oder hydrophobe Benetzbarkeit

Oberflächenpräparation zur Verbesserung der Haftfähigkeit

Verbesserung der Benetzbarkeit bei MEMS Mikrofluidelementen

Aktivierung und Sterilisierung medizinischer Instrumente

Ätzung von Fotowiderständen und Wafern

Gerätedekapsulation für Fehleranalyse
 


PIE Scientific KLEEN Downstream-Plasmacleaner

KLEEN Downstream-Plasmacleaner

In-situ Probenreinigung für FE-REM, FIB und TEM

Entfernung von Verschmutzungen bei Halbleiterequipment
wie bei CD-REM, EBR, EBI, EUVL

Reinigung von Hochvakuumkammern durch die Entfernung von Kohlenwasserstoffrückständen (Dekontaminierung)

Kammer- und Probenreinigung bei XPS, SIMS, AES

Kammer- und Probenreinigung bei ALD nach der Reinigung mit organischen Lösungsmitteln
 


Gas-Mixer

Bis zu drei mengenflussgeregelte Gaseinlässe

Durchflusskompensation für verschiedene Gassorten

Aktiver Belüftungs-Bypass zur Kammerbelüftung

Touchscreen Userinterface und Timer
 
 

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