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Dekontaminierung in REM-Kammer

Wissenswertes - Oft gestellte Fragen (FAQ)
zu Plasmacleaning generell sowie der Tergeo und KLEEN Serie


Was ist der Vorteil von Low-Pressure Plasmacleanern wie der KLEEN-Serie?
Für eine Low-Pressure-Plasma-Reinigung muss die Turbopumpe vorher nicht ausgeschaltet werden, da für die Turbopumpe keine Gefahr besteht. Ihre Lebenszeit wird sogar verlängert. Der Anwender muss nur das Gun-Absperrventil schließen und andere Hochspannungskomponenten innerhalb der Kammer deaktivieren.
Ist der Kammerdruck signifikant höher als 2 Pascal, vereinigen sich neu gebildete Radikale wieder miteinander, bevor sie aus der Remote-Plasmaquelle diffundieren können. Niedriger Ausgangsdruck reduziert nicht nur den Verlust von Radikalen innerhalb der zu reinigenden Kammer, sondern auch innerhalb der Plasmakammer.
Wird die Plasmaquelle bei niedrigem Druck betrieben, kann der Strömungsleitwert zwischen Plasmaquelle und Kammer sehr groß gemacht werden. Neu gebildete Radikale können so leicht in die Reinigungskammer diffundieren.
Die PIE Scientific Plasmacleaner können bei einem Druck ab etwa 0,01 Pascal innerhalb der Plasmaquelle zünden und betrieben werden. Nur mit einer hocheffizienten Plasma-Discharge-Technologie ist ein so niedriger Betriebsdruck erreichbar - ein hervorragender Beweis der für die Leistungsfähigkeit der PIE Scientific Produkte.
 
 
Wie stellt man sein optimales Preset ein?
Verschiedene Vakuumsysteme unterscheiden sich in Pumpleistung und Kammergröße. Daher kann die optimale Gasflussrate von System zu System variieren. Die PIE Scientific Plasmacleaner können den Gasfluss elektronisch regeln. Ein Drucksensor überwacht die Plasmaquelle, eine Plasmasonde die Plasmastärke.
Variiert der Anwender den Ausgangsdruck an der Quelle, justiert der Flussregler automatisch den Gasfluss nach, um den eingestellten Druck beizubehalten. Gleichzeitig überwacht die Plasmasonde die Plasmastärke. Basierend auf der Rückmeldung der Plasmasonde kann der Anwender den Arbeitsdruck der Plasmaquelle optimieren. Der Flussregler stellt automatisch die gewünschte Gasflussmenge für den optimalen Betrieb ein.
 
 
Was ist der Vorteil der automatischen RF-Impedanzanpassung?
Bei automatischer Impedanzanpassung braucht sich der Anwender nie Gedanken um RF-Fehlanpassungen zu machen. Die PIE Scientific Plasmaquellen liefern immer optimalen RF-Bedingungen. In vielen RF-Plasmasystemen bedeutet die einfache Optimierung der RF-Rücklaufleistung gegen Null nicht zwangsläufig die beste RF-Kopplung innerhalb der Plasmaquelle. Durch die Plasmasonde kann der PIE Scientific Algorithmus zur automatischen Impedanzanpassung die beste Plasmastärke für minimierte Rücklaufleistung einstellen.
 
 
Warum sind Brandmarken dunkler als andere Gebiete auf REM-Aufnahmen?
Brandmarken in Ionen- und Elektronenmikroskopen entstehen meist durch Polymer-Karbonablagerungen. Treffen hochenergetische Primärelektronen oder Primärionen auf die Probenoberfläche, erzeugen sie niedrigenergetische Sekundärelektronen (SE).
Sekundärelektronen haben durch ihre niedrige Energie einen viel höheren Interaktions-Wirkungsquerschnitt mit den umgebenden Gasmolekülen. Sie brechen Kohlenwasserstoffmoleküle auf und verursachen Kohlenstoffablagerungen im Scanbereich. Kohlenstoff weist eine sehr geringe Elektronenausbeute auf.
Ist ein Oberflächenbereich mit einer dünnen Kohlenstoffschicht bedeckt, werden von dort weniger Sekundärelektronen emittiert. Dadurch können solche Bereiche im Elektronenbild diffus und dunkel erscheinen. Zudem können Kohlenstoffablagerungen den Materialkontrast bei elektronen- oder ionenmikroskopischen Aufnahmen vermindern.

 
 

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